????為響應(yīng)國家“腦科學(xué)與類腦研究2030重大科技項(xiàng)目”，中國科學(xué)院腦科學(xué)與智能技術(shù)卓越創(chuàng)新中心于2022年在上海G60科創(chuàng)走廊核心區(qū)域率先建立了先進(jìn)腦科學(xué)微納加工平臺(tái)，這是面向腦智中心、外部科研院所乃至全社會(huì)開放的儀器共享科研平臺(tái)，也是腦智中心開展半導(dǎo)體器件工藝及其交叉學(xué)科研究的重要研究創(chuàng)新平臺(tái)。隨著我國科技、經(jīng)濟(jì)、社會(huì)發(fā)展對神經(jīng)科學(xué)和人工智能技術(shù)發(fā)展提出了巨大的需求—，我們必須加快建設(shè)應(yīng)對神經(jīng)系統(tǒng)重大疾病的預(yù)防、診斷和治療技術(shù)開發(fā)，以神經(jīng)計(jì)算、仿真記憶存儲(chǔ)、智能機(jī)器為代表的戰(zhàn)略性經(jīng)濟(jì)增長點(diǎn)，也成為搶占未來20—30年智能社會(huì)和超智能社會(huì)發(fā)展先機(jī)的關(guān)鍵。

????微納平臺(tái)目前擁有多名博士及工藝技術(shù)人員、設(shè)備工程師和安全工程師等，我們將緊緊圍繞中心發(fā)展和人才培養(yǎng)目標(biāo)，建設(shè)國內(nèi)一流科研平臺(tái)，支撐半導(dǎo)體加工領(lǐng)域前瞻性和創(chuàng)新性的科學(xué)研究。

?????先進(jìn)腦科學(xué)微納加工平臺(tái)位于上海市松江區(qū)強(qiáng)業(yè)路555號(hào)B1層，占地1000余平方米。平臺(tái)設(shè)有百級(jí)（ISO-5）和千級(jí)（ISO-6）兩個(gè)潔凈室區(qū)域，布局有清洗、鍍膜、干法刻蝕、封裝、量測等多道工序的先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備。同時(shí)擁有電子束曝光機(jī)、磁控濺射等先進(jìn)設(shè)備，具備全面的半導(dǎo)體器件制備條件。實(shí)驗(yàn)室內(nèi)還配備了通風(fēng)櫥、防爆柜、防爆冰箱等專業(yè)實(shí)驗(yàn)輔助設(shè)備。每年定期會(huì)定期檢測內(nèi)部環(huán)境顆粒度，更換潔凈間的空氣過濾器裝置，確保實(shí)驗(yàn)的可靠和穩(wěn)定性。此外，平臺(tái)還配備24小時(shí)專業(yè)廠務(wù)人員，定時(shí)巡檢確保實(shí)驗(yàn)室的安全平穩(wěn)運(yùn)行。

????在腦機(jī)接口領(lǐng)域，微納加工平臺(tái)被用于制備各種微型傳感器和電極陣列，用于記錄和識(shí)別人腦活動(dòng)中的電信號(hào)，并實(shí)現(xiàn)人腦與外部設(shè)備的交互和控制。這些設(shè)備需要具備高度靈敏度和穩(wěn)定性，以確?？煽康夭东@和解釋腦信號(hào)，從而實(shí)現(xiàn)對外部設(shè)備的精準(zhǔn)控制和交互式操作。 先進(jìn)腦科學(xué)微納加工平臺(tái)是一種專門用于制備微型電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）器件的技術(shù)設(shè)施，其在腦機(jī)接口等領(lǐng)域發(fā)揮著關(guān)鍵作用。該平臺(tái)提供了高度精密的微納加工技術(shù)，以支持對微米至納米尺度的器件進(jìn)行精確加工和制備，從而實(shí)現(xiàn)了對腦機(jī)接口等領(lǐng)域的可靠服務(wù)。

????首先在技術(shù)專業(yè)上具備先進(jìn)的微納加工工藝，如薄膜沉積、離子刻蝕等，以實(shí)現(xiàn)對MEMS器件的精密加工和制備。這些工藝能夠精確控制材料的形貌和結(jié)構(gòu)，從而保證器件的性能和可靠性。其次，平臺(tái)配備了先進(jìn)的材料處理設(shè)備，以滿足不同器件的制備需求。例如，對于腦機(jī)接口器件，可能需要特殊的生物相容材料或表面涂層，以確保與生物組織的良好兼容性。此外，微納加工平臺(tái)還具備完善的測試與評估系統(tǒng)，以對制備的MEMS器件進(jìn)行全面的性能測試和可靠性評估。這些測試系統(tǒng)能夠?qū)ζ骷碾娦阅?、力學(xué)性能等進(jìn)行準(zhǔn)確的測量和分析，從而保證器件在實(shí)際應(yīng)用中的可靠性和穩(wěn)定性。

????總之，先進(jìn)腦科學(xué)微納加工平臺(tái)在MEMS器件制備領(lǐng)域具有重要意義，尤其在腦機(jī)接口等前沿領(lǐng)域的研究和應(yīng)用中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。通過提供精密的加工技術(shù)、先進(jìn)的材料處理設(shè)備和完善的測試與評估系統(tǒng)，為實(shí)現(xiàn)可靠的服務(wù)和技術(shù)創(chuàng)新提供了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。